产(chǎn) 品 说 明 
特点：
1.支持多(duō)尺寸晶圆:3\4\5\6\8\12英寸
2.设定参数均可(kě)调整
3.参数设定修改均可(kě)通过触摸屏实现
4.客户模式均可(kě)自由更改
5.工(gōng)作(zuò)盘转速范围：0-3000转/分(fēn)钟
性能(néng)：
工(gōng)作(zuò)盘马达         交流感应马达
摆臂马达           交流伺服马达
干燥方式           旋转
清洗方式           二流體(tǐ)清洗
显示                5英寸触摸屏，操作(zuò)/编辑数据，显示错误信息等
操作(zuò)键             开始/停止，紧急停止 
電(diàn)源               交流220-230伏特      50/60赫兹 
压缩空气           0.45-0.65   兆帕